世界最小導通電阻之SiC電晶體

 

刊登日期:2019/1/28
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日本產業技術總合研究所在與富士電機、住友電氣工業、豐田汽車、東芝、三菱電機的共同研究中,利用碳化矽(SiC)開發了次世代型電晶體(Transistor)構造,是一項可望使用於電動車(EV)電力轉換系統之1.2 kV耐電壓等級的縱型超接合面(Super Junction)結構的金屬氧化物半導體場效電晶體(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor;MOSFET)。經過實證,確認可達到SiC電晶體之世界最小導通電阻(On-resistance),且具有優異的高溫特性與動力特性,未來將可望促進電力系統的小型化、效率化,甚至於新電力系統的開發。

產總研應用了獨家的SiC電晶體製作技術,因此成功地高精度形成窄節距(Narrow Pitch)之超接合面構造,實現低導通電阻之溝槽式閘極型(Trench Gate) MOSFET。經過MOSFET高溫特性與動力特性的評估,可知在175℃時,不具超接合面構造為6 mΩcm2,而有超接合面構造則降低至3.86 mΩcm2。此外,窄節距超接合面構造以及低導通電阻MOSFET的兩項效果之下,耐壓1170V的導通電阻為0.63 mΩcm2,達到了同等耐壓等級之SiC- MOSFET世界最小導通電阻。


資料來源: 化學工業日報 / 材料世界網編譯
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