P-GaN 之近況(中)

 

刊登日期:2004/3/5
  • 字級

本文介紹P-GaN之進展,其中包括用Mg及其他元素,例如Si、O或Zn同時做雜質時之影響,並討論熱處理時用不同周邊氣體,例如N2 、O2 及空氣之影響,一步驟及兩步驟熱處理之比較,以及新的熱處理方法用不同能源,例如微波、CO2雷射以及RF等方法之同異點,並討論熱處理溫度對P-GaN 性質之影響。
分享