日本東北大學研究團隊結合了微細加工與結晶成長技術，利用石墨烯（Graphene）開發出極小電路體積之 LSI，在矽基板上自碳元素成長石墨烯電路。 首先讓矽基板表面氧化並塗上感光性樹脂（Resist）描繪出電路形狀，再照射電子線形成電路，照射到電子線的地方以化學處理開孔，以鎳進行全面蒸著，除去 Resist 後形成鎳金屬的電路形狀，緊接著以 900℃ 加熱，進行 Plasma 化學氣相成長法（CVD），接觸到甲烷氣體（Methane）時，鎳金屬中自甲烷分離的碳元素便分散融化，冷卻後浮現出長 50~100nm，支撐著鎳金屬兩端的石墨烯，在這次實驗中，成功在長寬 2公分的基板上成長 100萬條寬 6.9nm 的細長石墨烯。 以新技術製作出的石墨烯是類似橋腳的構造，受到外部微小的溫度變化刺激或是電磁波震動即可發電，也可反過來以電流產生震動，能應用於不須外部電力的感應器。該新技術若結合東京農工大學與東北大學共同開發的，包含電子電路只照射一次電子線的技術，可望突破目前微細化僅到 10nm 的限制，製作出 5nm大小的半導體或配線。 資料來源: 日經產業新聞 / 材料世界網編譯 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 從MNC 2023國際研討會看先進半導體技術最新發展(下) 從MNC 2023國際研討會看先進半導體技術最新發展(中) 從MNC 2023國際研討會看先進半導體技術最新發展(上) Ga2O3功率元件於電動車應用的發展(下) Ga2O3功率元件於電動車應用的發展(中) 熱門閱讀 鋼鐵產業低碳製程技術發展趨勢 Ga2O3功率元件於電動車應用的發展(上) 高安全鋰電池材料與技術 固態鋰離子電池技術 聚焦二氧化碳再利用，推動脫化石資源依賴 相關廠商 金屬3D列印服務平台 大東樹脂化學股份有限公司 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 方全有限公司 台灣永光化學股份有限公司 正越企業有限公司 桂鼎科技股份有限公司 里華科技股份有限公司 銀品科技股份有限公司