日本東北大學研究團隊結合了微細加工與結晶成長技術，利用石墨烯（Graphene）開發出極小電路體積之 LSI，在矽基板上自碳元素成長石墨烯電路。 首先讓矽基板表面氧化並塗上感光性樹脂（Resist）描繪出電路形狀，再照射電子線形成電路，照射到電子線的地方以化學處理開孔，以鎳進行全面蒸著，除去 Resist 後形成鎳金屬的電路形狀，緊接著以 900℃ 加熱，進行 Plasma 化學氣相成長法（CVD），接觸到甲烷氣體（Methane）時，鎳金屬中自甲烷分離的碳元素便分散融化，冷卻後浮現出長 50~100nm，支撐著鎳金屬兩端的石墨烯，在這次實驗中，成功在長寬 2公分的基板上成長 100萬條寬 6.9nm 的細長石墨烯。 以新技術製作出的石墨烯是類似橋腳的構造，受到外部微小的溫度變化刺激或是電磁波震動即可發電，也可反過來以電流產生震動，能應用於不須外部電力的感應器。該新技術若結合東京農工大學與東北大學共同開發的，包含電子電路只照射一次電子線的技術，可望突破目前微細化僅到 10nm 的限制，製作出 5nm大小的半導體或配線。 資料來源: 日經產業新聞 / 材料世界網編譯 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 國際固態電路大會 ISSCC 2025：半導體發展趨勢與記憶體運算技術探討(... 國際固態電路大會 ISSCC 2025：半導體發展趨勢與記憶體運算技術探討(... 東芝開發出可大幅提高功率密度之「樹脂絕緣型SiC功率半導體模組」 日本綜合化學品製造商聚焦EUV，展望半導體材料領域 奈良先端科學技術大學等開發出GAA型氧化物半導體電晶體 熱門閱讀 AI在化學反應優化的應用 AI在化工製程節能應用 AI於MBR系統中之品質控制與能源優化應用：以膜絲瑕疵檢測與廢水曝氣... 國際固態電路大會 ISSCC 2025：半導體發展趨勢與記憶體運算技術探討(... 從Sustainable Material聯合材料展看循環低碳材料發展與新技術開發 相關廠商 台灣石原產業股份有限公司 金屬3D列印服務平台 山衛科技股份有限公司 喬越實業股份有限公司 正越企業有限公司 桂鼎科技股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 志宸科技有限公司