體積縮至1/1000的微電容器

刊登日期:2015/7/22
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日本產業技術綜合研究所日前以Super Growth單相CNT膜的微影(Lithography)加工法,開發出奈米碳管積體化後的微電容器。相較於過去的鋁質電解電容器,透過積體化可製作體積縮小至1/1000的電容器。今後將進行需求調查、尋找合作企業,以達到早期實用化。

Super Growth CNT膜具有高純度,比表面積大,作為電極材料可製作可高速充放電的微電容器。但單體性能差,積體化為首要之務。產總研利用乾式蝕刻技術,開發出將矽基板CNT膜加工成梳子狀電極的微影製程。CNT電極呈現直列,為了與之連接,該公司結合隔離膜建構技術,製作出積體微電容器。

資料來源: 化學工業日報/材料世界網編譯
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