強介電材料不但Bulk 狀已被廣泛利用,做為各種感測器與致動器,結合微細加工技術之微小化強介電微感測器與微致動器,正大力開發中。本文介紹幾種在微機電系統領域被研究與使用的強介電微元件,包括焦電紅外線熱像儀、超音波感測元件、陣列聲納元件、微閥、微馬達及微泵等。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 晶圓鍵合技術及其應用 可高速控制壓電材料之技術 燃料電池用氫偵測感測器的新發展 智慧型材料於生醫微型化系統之應用 氣體感測器的新動向--微機電元件產品開發 熱門閱讀 國際固態電路大會 ISSCC 2025:半導體發展趨勢與記憶體運算技術探討(... IEDM 2024前瞻:鐵電記憶體技術發展與半導體趨勢解析 海洋碳捕獲崛起,更有效率且可望轉換出新經濟價值 由2025 NEPCON Japan看低碳樹脂材料與印刷電路板製程技術與應用 日本綜合化學品製造商聚焦EUV,展望半導體材料領域 相關廠商 台灣石原產業股份有限公司 金屬3D列印服務平台 山衛科技股份有限公司 高柏科技股份有限公司 喬越實業股份有限公司 正越企業有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 志宸科技有限公司