強介電材料在微機電系統上的應用

 

刊登日期:1998/5/5
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強介電材料不但Bulk 狀已被廣泛利用,做為各種感測器與致動器,結合微細加工技術之微小化強介電微感測器與微致動器,正大力開發中。本文介紹幾種在微機電系統領域被研究與使用的強介電微元件,包括焦電紅外線熱像儀、超音波感測元件、陣列聲納元件、微閥、微馬達及微泵等。
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