圖案化藍寶石基板製程技術發展與奈米壓印之應用

刊登日期:2014/6/5
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圖案化藍寶石基板的使用可以提升氮化鎵系LED元件的內部量子效應與增加光取出效率,是製作高效率藍光與白光LED的關鍵技術。本文主要介紹各種常見的圖案化藍寶石基板製程技術,並針對在產業應用上逐漸嶄露頭角的壓印微影、蝕刻製程技術發展現況與未來展望進行分析。


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