產總研發明高品質薄膜製作技術

 

刊登日期:2014/5/23
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日本產業技術總合研究所加藤一實首席研究員等人開發出只需浸泡液體就能製作出高品質薄膜之塗佈技術。研究團隊在高溫高壓的水中溶解原料與界面活性劑如油酸(Oleic Acid)等製成溶液。以鈦酸鋇(Barium Titanate)為例,如果水溶液在攝氏220度、約20氣壓下保持約70個小時,便能製作出單邊約15奈米的骰子狀微粒子。
 
接著將微粒子分離並溶於有機溶劑—甲苯(Toluene),然後再將基板浸入、以每小時 4mm的速度將基板慢慢提高,並以攝氏850度進行一小時的熱處理,如此便能夠簡易地製作近似單結晶的薄膜。
 
新技術比起以往的真空蒸鍍法,性能較為提升、誘電率可達3000之水準,可望應用於電容器、冷凝器、蓄電池等領域,有助於降低電子零件成本,期盼能夠早日達到實用化水準。
 
資料來源:日經產業新聞/材料世界網編譯

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