應用鑽石膜至表面聲波濾波器

刊登日期:2001/5/5
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隨著社會高度資訊化,表面聲波濾波器已經被大量的應用在日常生活中,如衛星通訊、網路通訊及無線通訊等,對短小輕薄的高頻元件需求日益增加。而高聲速壓電材料對高頻表面聲波元件的發展是很重要的。鑽矽科技利用鑽石成長的多層膜結構來製成高聲速表面聲波濾波元件,由於鑽石具有很多極致的優點,像很高的聲速,可控制至很高的功率,零溫度效應偏移,很低的相偏移,很高的崩潰電壓等特性,而且利用鑽石所製成的表面聲波濾波器,不需次微米的微影技術即可達高頻的需求。
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