Class 100高精準薄膜塗佈技術

■ 技術特色

►  無塵環境─薄膜製造的 100 等級無塵室環境

►  塗佈精度─可達乾厚 5um 均勻度≦ 3%

►  線上監控裝置─線上厚度測量儀 ETA、線上反射、透過缺陷檢查機 AOI

 

■ 技術規格

 

■ 產業應用

►  製造符合半導體製程材料、塑膠基板，以及高附價值電子材料的關鍵零組件。

 

工研院材化所 L400 光電材料與薄膜試製研究室