正型乾膜光阻材料技術 & 光阻膜材熱裂解油化技術

正型乾膜光阻材料技術 

■ 技術創新特性

   ► 環境保護：具水性 KOH 或 Na₂CO₃ 顯影系統

   ► 正型光阻：可 R2R 收卷，可達高解析度，適用於高規格載板應用

   ► 無溶劑：乾膜製程，操作環境更友善

   ► 酚系改質顯影樹脂，滿足易收卷及不易脆化乾膜捲材

 

■ 核心技術能力

   ► 正型光阻樹脂合成技術

   ► 正型乾膜光阻配方調控技術

 

■ 技術潛力應用領域

► Copper Pillar、FMM、陶瓷基板線路、PCB/IC 載板 /Micro LED 之金屬線路蝕刻

 

■ 技術成果

► 提供國內廠商一種可以應用於 IC 載板產品之高解析正型光阻乾膜，協助國內材料廠商快速導入細線路IC 載板市場

► 鏈結國內外樹脂廠、光阻廠、精密塗布設備廠、載板廠、封裝廠等供應鏈，進行上中下游整合

 

光阻膜材熱裂解油化技術

■ 技術簡介

► 乾膜光阻 PE 覆蓋膜廢料約 4,600 公噸 / 年，焚化造成化學臭氣污染，增加碳排放量

► 本技術透過熱裂解方式，將 PE 膜轉換成熱裂解油，並做燃料油應用

 

■ 核心技術能力

► 採用氮氫熱裂解方式，將 PE 廢料中的 C-C 鍵斷裂，形成低分子量烷鏈、烯鏈，製成油品

 

■ 技術成果

 

工研院材化所 V100 感光材料與應用研究室