■ 核心價值
透過稀土鹵素與熱還原合成技術開發,掌握關鍵/ 戰略原料來源。發展金屬鈧蒸餾純化以及鋁鈧合金粉體霧化技術,並鏈結國內靶材業者協同開發冶金粉靶熱壓製程,邁向5G 高頻通訊靶材國產自主化目標。
▣ 自主、協同開發製程設備
► 鈧合成純化技術
► 鈧產品
▣ 核心主軸技術
■ 核心技術
►金屬 / 鈧 ( 稀土 ) 純化技術
► 金屬 / 合金粉末製程技術
► 金屬 / 合金靶材製程技術
► 熱還原合成技術
► 鈧 ( 稀土 ) 鹵化物合成技術
► 合金熔配技術
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■ 技術成果
► 高純氟化鈧粉
► 粗鈧 (2N)
► 高純鈧 (3N)
► 鋁鈧合金粉
► 鋁鈧靶
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▣ 高階分析設備
▣ 分析技術與驗證平台量能
■ 核心技術
► 高純物料元素分析
► 材料表面改質技術
► 再生料源循環利用
► 化合物半導體材料合成與驗證技術
工研院材化所 X300 粉體材料先進製程研究室