晶圓保護與固定用膠材

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■ 技術簡介
UV Tape 是一種經過紫外線照射後黏著強度變得很小的膠帶,其具有曝光前黏著強度高,但曝光後黏著強度大幅下降之優異特點,被廣泛使用在電子產品生產製程中的晶圓保護與固定用膠材。UV Tape 利用曝光前後黏著力之差異,使研磨/ 切割/ 減薄過程能維持強大固定力,於製程結束後進行UV 曝光降低黏著力,使晶片能輕易從膠帶上剝離,且無膠材殘留。UV Tape 已應用於晶片先進製程、研磨、封裝與晶粒切割及翻轉製程。
晶圓保護與固定用膠材
 
■ 技術規格
  ► @100 μm PET 基材:UV 前剝離力最高可達 2400 gf/in. 以上
  ► @100 μm PO 基材:UV 前剝離力最高可達 1800 gf/in. 以上
  ► UV 後剝離力≤ 20 gf/in.
  ► 不殘膠
晶圓保護與固定用膠材
 
■ 產業應用
  ► Mini LED/ Micro LED transfer
  ► 8”and 12” Temporary wafer bonding
  ► 8”and 12” Wafer back grinding
  ► LED / Wafer / MLCC dicing
晶圓保護與固定用膠材
 
工研院材化所 L100 光電材料與元件設計研究室
相關文件:2023MCL-L100.pdf

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