金屬材料表面改質技術 & 碳化矽(SiC) 塗層技術及應用

金屬材料表面改質技術
▣ 電漿鍍膜技術 (0.1~10 μm)
本技術利用引弧器(Trigger) 在靶源附近引發陰極弧光和電漿流,過程中提供能量給靶材激發出原子和部份離子,受電子撞擊後成為離子態,可沉積於金屬材料表面形成薄膜。
■ 成果與應用
► 高精密模具表面改質
電漿鍍膜技術
 
▣ 熔射塗層技術 (50~500 μm)
本技術利用熱能將具功能性金屬陶瓷複合材料,噴覆於工件上,形成緻密的防蝕性及抗磨耗性塗層。製作後可以抵抗外在環境的侵蝕作用,可有效地提高產品的耐候性及使用壽命。
■ 成果與應用
► 尺寸恢復、抗磨耗、耐高溫與抗腐蝕
熔射塗層技術
 
碳化矽(SiC) 塗層技術及應用
■ 技術簡介
碳化矽(SiC) 是一種含有共價鍵的陶瓷材料,由於其具備良好的硬度、耐熱性、耐氧化性、耐腐蝕性及高導熱性,因此,SiC 膜層可應用於LED 磊晶石墨載盤、半導體、光電、機械、航太、汽車等相關產業的耐高溫、耐熱衝擊、耐磨及高散熱性零組件上。
 
■ 技術規格
► 鍍膜面積達 20 公分直徑
► 膜層厚度達 70μm 以上
► 膜層結構以 3C-SiC 為主
► SiC 膜層硬度 >15 GPa
碳化矽(SiC) 塗層技術及應用-技術規格
 
工研院材化所 J200 高階功能性鍍膜與應用研究室
★以上為部分節錄資料,完整內容請見下方附檔。
相關文件:2020MCL-J200.pdf

分享