先進陶瓷薄膜與應用研究室

提供半導體原物料、結構陶瓷與薄膜材料量測技術，從原物料到後端產品的材料特性分析、缺陷檢測與元件失效模式，協助半導體關鍵物料、陶瓷零組件、化合物半導體磊晶廠、封測廠等的新產品研發。

 

 

■ 應用

  ▶ 高純物料元素分析

  ▶ 材料表面改質技術

  ▶ 再生料源循環利用

  ▶ 化合物半導體材料合成與驗證技術

 

 

 

■ 應用

  ▶ 半導體設備陶瓷零組件熔點與結晶點

  ▶ 陶瓷基板特性檢測

  ▶ 陶瓷散熱 / 發熱材分析

  ▶ 陶瓷材料強度檢測

 

 

 

 

工研院材化所 X500 先進陶瓷薄膜與應用研究室