回收蝕刻廢液中的銅與稀有金屬,打造全新「廢水處理/資源回收事業」

 

刊登日期:2026/8/17
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Panasonic環境工程針對半導體/電子元件工廠的藥液供應與廢液處理,提供涵蓋「入口」與「出口」的解決方案,為相關製程提供整體性支援。在廢水處理/金屬回收等「出口」領域方面,半導體與印刷電路板製程產生的廢液中含有大量銅元素,但也含有各種化學物質,分離處理相當困難,以往除引進大型廠務系統加以處理以外,只能採支付費用方式委外處理。
 
Panasonic環境工程將利用電解技術回收廢液中銅離子的設備加以模組化,開發出「RARELOOP」設備,可以安裝在有限的工廠空間內,降低設備引進的初始門檻與後續維護成本,還可以透過銅的回收,降低廢棄物處理費用,創造新的收益。未來也規劃將回收對象擴展至銀、錫、鎳等稀有金屬。
 
此外,由各種藥劑混合而成、含有奈米粒子與漿料的難凝集廢液,以及含有胺類等有機氮的難分解廢液,也是極難處理的問題。Panasonic環境工程運用其獨有的電化學反應技術,建立幾乎不使用藥劑、可有效凝集、分離難凝集廢液的技術,大幅降低藥劑使用量。而在難分解廢液方面,則結合獨有的氧化還原促進機制與次氯酸生成技術,加快處理速度、實現設備小型化。
 
在製程用藥劑等「入口」方面,Panasonic環境工程也針對隨著半導體電路持續微細化而越來越難以完全去除的光阻,開發出環境負荷低、壽命長、可在低溫條件下進行高速處理的光阻剝離液,延長藥液更換週期,降低藥液使用量,兼顧環保需求。

資料來源: https://monoist.itmedia.co.jp/mn/articles/2607/22/news039.html
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