展望Post-5G,NTT成功實現氮化鋁系高頻電晶體運作首例

 

刊登日期:2026/2/12
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日本NTT成功實現氮化鋁系(AlN)高頻電晶體的高頻運作,且為全球首例。此成果係透過低電阻結構設計,克服以往被認為難以達成之「高鋁(Al)組成條件下的高頻動作」課題,使元件能在毫米波頻段進行訊號放大,預期將有助於提升Post-5G時代無線通訊服務的效能。
 
過去AlN一度被視為不導電的絕緣材料。而NTT開發出高品質AlN薄膜的成長技術,並於2022年成功實現世界首次AlN的半導體化。AlN作為半導體材料具有極為突出的物性表現,尤其是崩潰電場極高,因此可望應用於功率元件。理論上,其電力損失可降低至矽(Si)的5%以下、碳化矽(SiC)的35%、以及氮化鎵(GaN)的50%。
NTT亦持續推動AlN功率元件的研究,並於2024年12月發表AlN系蕭特基障壁二極體之電流傳輸機制解析成果。然而,此次發表的研究重點並非功率元件,而是作為無線通訊用途的高頻元件技術成果。
 
在高輸出功率高頻元件中,其性能指標通常與「崩潰電場與電子飽和速度之乘積」成正比,AlN在此性能指標上約為GaN的5倍,具備極高潛力。而AlN系半導體的氮化鋁鎵(AlGaN)若鋁組成比例越高,理論性能指數即越優異;但同時也會導致電極接觸電阻與通道電阻上升,若鋁組成超過75%後,高頻運作變得極為困難,因此長期以來成為技術瓶頸。
 
NTT以其自有技術成功克服上述問題。首先,在降低接觸電阻方面,研究團隊重新檢討既有「電極直接形成於AlGaN通道層」的結構,改為在電極與通道之間插入AlGaN接觸層,以降低能障,進而成功抑制接觸電阻隨高鋁組成增加而惡化的問題。
 
此外,NTT採用極化摻雜(Polarization-Doped)的AlGaN通道結構,形成高濃度的三維電子氣體(3D Electron Gas),藉此提高通道層的電子濃度,並進一步降低通道電阻。實驗結果顯示,元件在汲極電壓變化下,汲極電流具有良好的啟動特性。即使在鋁組成高達85%的AlN系電晶體中,仍能同時實現高汲極電流與優異的開關電流比,顯示低電阻化設計的顯著成效。
 
在以往被認為極為困難的高鋁組成高頻運作方面,NTT亦首次成功實現超過1 GHz的高頻功率放大動作。其最高動作頻率達到79 GHz的毫米波頻段,創下目前已發表之AlN系電晶體的最高紀錄。透過此次的成果,今後AlN的應用範圍可望從功率元件進一步拓展至無線通訊元件領域,將有助於Post-5G時代的通訊涵蓋範圍擴大、資料傳輸高速化,以及整體無線通訊基礎建設的發展。展望未來,NTT表示將持續設計可支援更大電流與更高電壓操作的元件結構,推動相關技術的研究開發,使其能廣泛應用於功率元件與無線通訊元件等多元領域。
 

資料來源: https://group.ntt/jp/newsrelease/2025/12/09/251209a.html
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