多元高性能合金之磁特性及應用

 

刊登日期:2005/8/5
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隨著資訊產業的快速發展,對於電感器微小化、高頻化和單一晶片化(如:MMICs)的要求日益增高,高頻薄膜電感乃孕育而生。高熵合金薄膜由於本身的特點,高亂度、非晶質或奈米細晶結構、低矯頑磁場以及高電阻率,而極具高頻薄膜電感之開發潛力。透過合金設計、製程參數最佳化、膜層結構調變,經實驗證實,高熵合金薄膜在頻率3GHz操作下,其導磁率仍可維持µ>100 以上。
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