掃描探針顯微鏡於軟物質與半導體之應用

 

刊登日期:2004/9/5
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掃描探針顯微鏡(Scanning Probes Microscopy; SPM)為微區量測中之有力工具,自從1982年IBM科學家Binnig 和Rohrer 首先發明穿隧電流顯微鏡(Scanning Tunneling Microscopy; STM)來觀察原子影像,進而陸續發展出如AFM 、EFM 、SCM 、MFM 等各式觀察微區表面形貌與磁電化等特性之顯微技術後,此SPM技術的運用便如雨後春筍般的出現在各個研究領域上。在本文中,將針對原子力顯微鏡(AFM)與掃描電容顯微鏡(SCM)於生物軟物質(Soft Materials)與半導體領域的應用進行分析介紹。
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