微波電漿製程技術與奈米粉體之應用

 

刊登日期:2004/9/5
  • 字級

微波電漿具有眾多特點,例如不需要電極、在微波電漿中被活化的分子及化學自由基(ChemicalRadical)的數量比射頻電漿高出許多等,因而大大的提高微波電漿的應用層面。本文介紹微波電漿之特點、增進反應動力的主要原理、奈米粒子形成機構/步驟、各種粉體製程、雙相複合材料/ 包覆層的製作,以及奈米粉體之眾多新穎特性,並舉例說明微波電漿法奈米粉體之應用,包含:奈米粉體之導電/ 磁性/ 光電/ 光學/ 生醫/ 光觸媒等應用、高頻磁性應用之Co/SiO2奈米包覆層複合粉體與高分子奈米包覆層複合粉體⋯等。
分享