強介電材料不但Bulk 狀已被廣泛利用,做為各種感測器與致動器,結合微細加工技術之微小化強介電微感測器與微致動器,正大力開發中。本文介紹幾種在微機電系統領域被研究與使用的強介電微元件,包括焦電紅外線熱像儀、超音波感測元件、陣列聲納元件、微閥、微馬達及微泵等。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 晶圓鍵合技術及其應用 可高速控制壓電材料之技術 燃料電池用氫偵測感測器的新發展 智慧型材料於生醫微型化系統之應用 氣體感測器的新動向--微機電元件產品開發 熱門閱讀 功率半導體元件與散熱技術 寬能隙功率半導體封裝之結構設計與互連技術挑戰 功率半導體之高導熱陶瓷基板材料技術與應用發展 廢氫氟酸轉製冰晶石有價資源化技術 AI世代之次世代功率半導體產業發展 相關廠商 新加坡商英彼克有限公司台灣分公司 台灣石原產業股份有限公司 金屬3D列印服務平台 山衛科技股份有限公司 高柏科技股份有限公司 喬越實業股份有限公司 正越企業有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 志宸科技有限公司