「微小化」是21 世紀科技發展中的一項重要課題,而在微小化過程中奈米微影技術為用於製作奈米導線、奈米元件或是奈米感測器等細小機構之重要手段,惟此項技術的發展受到光阻性質影響甚巨,為了達到奈米微影嚴苛之規格,傳統單一成份光阻已不敷使用,因此本文將簡單說明目前有機/有機與有機/無機奈米複合材料光阻之發展現況。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 操控奈米世界的眼睛及手指─奈米平台技術 日企積極推動奈米碳管產業化,促進下世代創新材料加速發展 奈米一維材料製造及特性研究 可大幅提升強度、彈性率並具有雷達波控制機能之CNF強化化合物 大陽日酸與東邦化成公司合作開發氟樹脂/CNT奈米導電材料 熱門閱讀 鋼鐵產業低碳製程技術發展趨勢 Ga2O3功率元件於電動車應用的發展(上) 高安全鋰電池材料與技術 固態鋰離子電池技術 聚焦二氧化碳再利用,推動脫化石資源依賴 相關廠商 金屬3D列印服務平台 大東樹脂化學股份有限公司 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 廣融貿易有限公司 方全有限公司 台灣永光化學股份有限公司 正越企業有限公司 誠企企業股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 里華科技股份有限公司 高柏科技股份有限公司 銀品科技股份有限公司