CIGS薄膜太陽電池H2Se 硒化爐設計概念

 

刊登日期:2011/7/5
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CIGS薄膜太陽電池在成本上較結晶矽太陽電池低,在效率上較矽薄膜太陽電池高,是未來深具潛力之薄膜太陽電池技術;在CIGS薄膜太陽電池製程中,硒化是很關鍵的步驟,且對參數要求很精準,所以硒化爐的設計能符合製程需求就更為重要;硒化爐的設計必須包含均勻加熱控制、反應氣體均勻、控制系統技術、冷卻系統、毒性氣體控制管理等,本文將針對這些設計概念做一說明。


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