由於能源短缺與氣候異常變遷，使得潔淨能源越來越受重視，並直接促進了太陽電池技術的發展。在眾多太陽電池技術中，矽薄膜太陽電池技術格外受矚目，其原因在於具有使用Si 原料少、可與建材一體結合(BIPV)、總發電量高、Energy Pay Back 時間短等優勢。同時矽薄膜製程具備大面積量產化的可行性，因此大面積量產、製作高效率、高穩定且低成本的矽薄膜太陽電池，將是此技術的研發重點。本文將介紹矽薄膜之材料特性與薄膜電池結構、矽薄膜沉積原理、製程關鍵技術考量；並且針對目前主要的矽薄膜設備廠商機台與大面積製程技術加以介紹，並比較各技術的開發現況。