觸媒技術在高科技廠房氣體處理之應用

 

刊登日期:2009/5/5
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觸媒技術具有處理效率高、反應溫度低、能源消耗低及無二次污染物生成的優點,是一種環境友好的氣體淨化技術。在半導體及光電廠之廠區氣體處理,不論是關乎整廠所需之空氣淨化處理或製程尾氣處理,在在都可以看到觸媒相關技術的身影,是目前廣泛應用的技術之一。本文介紹高科技廠常見有關氣態分子污染物、全氟化合物及低閾值異味氣體的問題,及可應用之相關觸媒技術。


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