利用奈米壓印技術製作光子晶體結構於氮化鎵磊晶基板上

刊登日期:2009/4/5

字級

使用紫外光固化奈米壓印技術，製作光子晶體圖案於氮化鎵磊晶基板上，使形成光子晶體發光二極體。藉由理論分析壓印的壓力與流體分佈，配合實驗調整壓印與離模時的相關參數，可壓印出200nm的光子晶體圖案，同時最小線寬可壓印70nm的奈米圖案，並將壓印光阻圖案藉由反應性離子蝕刻轉移到氮化鎵磊晶基板上。

Download檔案下載加入會員