利用奈米壓印技術製作光子晶體結構於氮化鎵磊晶基板上：材料世界網

使用紫外光固化奈米壓印技術，製作光子晶體圖案於氮化鎵磊晶基板上，使形成光子晶體發光二極體。藉由理論分析壓印的壓力與流體分佈，配合實驗調整壓印與離模時的相關參數，可壓印出200nm的光子晶體圖案，同時最小線寬可壓印70nm的奈米圖案，並將壓印光阻圖案藉由反應性離子蝕刻轉移到氮化鎵磊晶基板上。

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利用奈米壓印技術製作光子晶體結構於氮化鎵磊晶基板上