P-GaN 金屬電接觸(上)

 

刊登日期:2002/1/5
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P-GaN 金屬電接觸(Metal Electrical Contact)材料之選擇對GaN 一族發光二極體(LED)及雷射(LD)之性能有重大影響。本文敘述P-GaN 金屬電接觸之基本概念並討論1999 年以後發表之各種P-GaN金屬電接觸之特性,尤其是以Ni/Au 為基本之金屬電接觸氧化熱處理後之性能以及其低接觸電阻(Contact Resistance)之原理,最後討論P-GaN 表面處理之方法以及其影響。
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