AGC進軍半導體熱傳介質市場,新產品可對應廣泛溫度範圍

 

刊登日期:2026/8/19
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AGC開發出單一物質成分的氫氟醚(Hydrofluoroether; HFE)產品「AF-164」,屬於「AMOLEA」系列的新產品,此系列產品包括用於清洗劑、溶劑以及冷媒等用途的含氟溶劑與氣體。AF-164也是AGC首款以半導體熱傳介質為主要用途的產品,目前已開始提供樣品給客戶。
 
AF-164的主要用途在於蝕刻、成膜以及離子植入等,會在局部產生瞬間高熱的製程,其效用不限於冷卻,而是可以配合循環冷卻設備,進行精密溫控。隨著半導體電路持續微細化、製程步驟增加,溫控精度已經會對半導體製造良率以及元件性能造成直接的影響。AF-164的特點在於沸點高達164℃,作業溫度在-30℃至130℃之間,可涵蓋廣泛的中等溫度使用範圍。由於各種半導體製程的溫度各不相同,若能在不同製程中採用單一熱傳介質,可望降低溫控設備運作成本,以及材料採購等整體成本。
 
低環境負荷也是AF-164的優勢之一。一般HFE產品的全球暖化潛勢(Global Warming Potential; GWP)多為三位數,AF-164的GWP控制則在50以下。近年來,半導體製造商對於降低環境負荷的要求持續提高,在熱傳介質產品方面,除了低臭氧層破壞潛勢(Ozone Depletion Potential,ODP)的要求以外,也要求進一步降低GWP。
 
含氟熱傳介質市場目前正以每年10%以上的速度成長,市場規模估計已達300億日圓。AGC希望推出替代性產品,切入其他公司退出全氟/多氟烷基物質市場後留下的空缺,發揮從上游含氟化學品原料布局的事業基礎,在日本建立一貫化量產體制,並以日本產品地緣政治風險較低的優勢作為賣點,爭取儘早獲得市場採用。

資料來源: https://chemicaldaily.com/archives/83244
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