日本USHIO開發了一項無須使用觸媒或添加劑，利用光在單一反應器中即可分解全氟辛烷磺酸(PFOS)、全氟辛酸(PFOA)等全氟/多氟烷基化合物(PFAS)代表性物質，將其予以無害化之技術。
新開發的技術利用準分子燈發出波長為172 nm的紫外線以及氫氧自由基(OH)、水合電子的能量進行PFOA、PFOS分解，並確認即使大量的PFOA、PFOS(mg/L)仍可在一定時間內分解99％。
此過程可在室溫、常壓下進行，不需要任何燃料、觸媒或化學添加劑，僅使用光與電能即可分解。此外，分解反應過程中不易產生意料之外的氟化合物，且可分解短鏈PFAS分子。
分解後剩餘的最終物質(HF、H+、F-)可利用氫氧化鈣進行最終處理，固定、穩定成為氟化鈣(可再利用於其他用途)。此外，將此項技術與PFAS濃縮技術結合，將可實現高分解效率。今後USHIO計畫進一步展開實用化開發，並預定在今年度投入實證實驗，且於2027年達到新技術事業化的目標。