在電漿輔助材料製程中，電漿相關之製程佔有極重要之地位。隨著元件尺寸縮小及製程面積不斷加大，生產線上所面臨的挑戰也更加嚴苛，諸如均勻度、蝕刻率/鍍膜率、選擇比等，均會嚴重影響製程的品質。而在電漿中最重要的特性非電子相關參數莫屬，對於電漿中氣體分子之解離、與各類離子或反應粒子之比例有決定性之影響，因此電子相關特性之量測極為重要。相較於其他不同量測工具，蘭牟爾探針最能提供完整之電子溫度、密度與能量分佈函數等資訊。而微波干涉儀屬於非侵入式量測，可用以即時量測電子密度的變化，很適合用來作為電漿製程中電子密度線上即時的監控工具。