脈衝磁控濺鍍技術介紹：材料世界網

有別於傳統的DC或RF磁控濺鍍，脈衝磁控濺鍍在鍍膜時施加中頻的電壓及電流脈衝到靶材上，不但可以避免高絕緣性薄膜濺鍍中的電弧問題，還可以藉著脈衝模式和頻率的調整，改變鍍膜時傳遞到基板上的能量，得到與傳統控制方式相同甚至更佳的效果，而且操控更為精確簡易。

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脈衝磁控濺鍍技術介紹