有別於傳統的DC或RF磁控濺鍍,脈衝磁控濺鍍在鍍膜時施加中頻的電壓及電流脈衝到靶材上,不但可以避免高絕緣性薄膜濺鍍中的電弧問題,還可以藉著脈衝模式和頻率的調整,改變鍍膜時傳遞到基板上的能量,得到與傳統控制方式相同甚至更佳的效果,而且操控更為精確簡易。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 化合物半導體製程用CVD SiC鍍膜技術 從ALD 2023看原子層沈積前驅物開發現況 可同時因應噴塗、網版印刷之電磁波屏蔽油墨 從2022 FILMTECH JAPAN看材料發展與電漿加工技術現況 新開發液相碳塗佈技術,無機粒子表面均一被覆碳材,可賦予多樣機能性 熱門閱讀 從ICSRSM 2023看碳化矽材料領域發展(上) 鋼鐵產業低碳製程技術發展趨勢 Ga2O3功率元件於電動車應用的發展(上) 高安全鋰電池材料與技術 聚焦二氧化碳再利用,推動脫化石資源依賴 相關廠商 金屬3D列印服務平台 大東樹脂化學股份有限公司 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 誠企企業股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司