Panasonic利用聲子結晶,將遠紅外線感測器感度提高10倍

 

刊登日期:2021/5/17
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Panasonic於日前發表針對搭載聲子結晶(Phononic Crystal)構造之遠紅外線感測器,開發了一項感度提升技術。聲子結晶構造具有能大幅超越一般矽(Si)材料在斷熱性能方面的物性值極限,此次Panasonic即開發了周期未滿100 nm之聲子結晶適用於量產的製程技術。Panasonic利用在矽晶圓上形成經過緻密控制之數十nm孔徑且週期規則排列的聲子結晶構造,成功地得到超越矽材料物性值極限約10倍的斷熱性能。

將新技術應用於支持遠紅外線感測器受光部位的矽鞍架(Saddle Support)部分,確認大幅提升了支持鞍架的斷熱性能,提高了受光部位的溫度上升率,減少熱漏損也進而促使熱傳導率從過去的31.2 W/Mk控制在3.6 W/mK,與既有遠紅外線感測器相比,提高了約10倍的感度,同時也是世界首度的實證成果。今後Panasonic將活用新開發的技術,進一步著手進行熱資訊可視化的感測技術,以及小型、高密度裝置的散熱解決方案的開發。


資料來源: https://news.panasonic.com/jp/press/data/2021/04/jn210416-1/jn210416-1.pdf
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