奈米模擬技術-動力蒙地卡羅方法於薄膜沉積模擬之應用

 

刊登日期:2003/12/5
  • 字級

為了加速奈米科技的發展,運用電腦計算模擬來協助探討與瞭解奈米結構的特殊性質,以及形成奈米結構的精準製程,電腦模擬已成為實驗室不可或缺的研究輔助工具。本文簡要介紹動力蒙地卡羅方法在薄膜沉積模擬之應用,藉由引進反應過度態理論(Transition State Theory)統計機率之概念,模擬薄膜在三度空間網格中的沉積過程和表面機制。
分享
為此篇文章評分

相關廠商