奈米模擬技術－動力蒙地卡羅方法於薄膜沉積模擬之應用：材料世界網

為了加速奈米科技的發展，運用電腦計算模擬來協助探討與瞭解奈米結構的特殊性質，以及形成奈米結構的精準製程，電腦模擬已成為實驗室不可或缺的研究輔助工具。本文簡要介紹動力蒙地卡羅方法在薄膜沉積模擬之應用，藉由引進反應過度態理論(Transition State Theory)統計機率之概念，模擬薄膜在三度空間網格中的沉積過程和表面機制。

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