奈米金屬粉體之微波電漿製程與應用技術

 

刊登日期:2003/12/5
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奈米材料展現出在光、電、磁、機械、表面觸媒等方面的新特性,因此,它已成為材料科技創新研發的新焦點。所以開發可量產、不凝團、高品質的奈米粉體製程技術就愈顯重要,微波電漿反應符合了這些條件,而且它可合成眾多種類材料系統,如金屬、氧化物、氮化物、碳化物及雙相複合材料?等。本文介紹微波電漿之特點、增進反應動力的主要原理、奈米粒子形成機構/步驟、各種金屬粉體製程、雙相複合材料/包覆層的製作,並舉例說明微波電漿法奈米粉體之應用,包含:奈米金屬粉體之導電/磁性/光電/光學應用、TiN/W雙相奈米複合粉體、高頻磁性應用之Co/SiO2 奈米包覆層複合粉體與高分子奈米包覆層複合粉體...等。
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