多尺度光學散射系統模擬計算

刊登日期:2015/10/5
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近年來,隨著各式 各樣的粒子開發,用於提升光學元件性能的散射結構也越趨複雜,再加上元件薄型化的趨勢,各種複合型的散射結構也逐漸問世,因此,利用模擬來縮短製作研發時 程是一個重要的課題。本文將針對表面散射系、體散射系及複合型散射系(體散射結合表面散射),使用ASAP軟體來建立其光學模型,並與實際樣品的光學量測 結果作對應,來確定此模型之可信度。

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