「微小化」是21 世紀科技發展中的一項重要課題，而在微小化過程中奈米微影技術為用於製作奈米導線、奈米元件或是奈米感測器等細小機構之重要手段，惟此項技術的發展受到光阻性質影響甚巨，為了達到奈米微影嚴苛之規格，傳統單一成份光阻已不敷使用，因此本文將簡單說明目前有機/有機與有機/無機奈米複合材料光阻之發展現況。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 操控奈米世界的眼睛及手指─奈米平台技術 奈米一維材料製造及特性研究 大陽日酸與東邦化成公司合作開發氟樹脂/CNT奈米導電材料 先進奈米複合碳材料之未來發展與應用趨勢 從ACIN 2013看先進複合無機奈米材料與應用(上) 熱門閱讀 Micro LED關連材料 車用鋰電池正極材料發展趨勢 軟性、可摺疊表面蓋板材料簡介 從JEC World 2018發明獎看複合材料技術最新發展(上) 熱活化延遲螢光材料之最新發展 相關廠商 金屬3D列印服務平台 大東樹脂化學股份有限公司 名揚翻譯有限公司 華錦光電科技股份有限公司 高柏科技有限公司 銀品科技股份有限公司 友德國際股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 里華科技股份有限公司 喬越實業有限公司 廣融貿易有限公司 台灣鑽石工業股份有限公司 科邁斯科技股份有限公司 方全有限公司 台灣永光化學股份有限公司 正越企業有限公司 誠企企業股份有限公司