應用於奈米微影光阻之奈米複合材料

刊登日期:2002/5/5
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「微小化」是21 世紀科技發展中的一項重要課題,而在微小化過程中奈米微影技術為用於製作奈米導線、奈米元件或是奈米感測器等細小機構之重要手段,惟此項技術的發展受到光阻性質影響甚巨,為了達到奈米微影嚴苛之規格,傳統單一成份光阻已不敷使用,因此本文將簡單說明目前有機/有機與有機/無機奈米複合材料光阻之發展現況。
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