碳化矽治具用於半導體前端製程之介紹

刊登日期:1997/3/5
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於半導體前端製程進步神速下,優良之碳化矽製品有其迫切性。又在治具製品成型之製作速度,品質穩定性及成本控制上為量產之要件。在半導體廠使用層面上,要求高強度壽命長,生成微粒少及淨化次數少,需運轉週期短致產能提高,且質輕、成本效益高。而Super SiC 在CNC 加工母機及CAD/CAM 助力不足可符合上述要求,可謂相當好之碳化矽產品。
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