延伸閱讀

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• 氮化矽陶瓷材料之發展
• 高階結構陶瓷於半導體製程設備之應用
• 擁有高硬度與高耐熱的氮化矽透明陶瓷
• 低成本鑽石能源半導體製造技術

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