噴塗熱裂解成膜技術在高效率矽晶太陽電池之應用

刊登日期:2013/6/5
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近年來,表面鈍化技術應用在高效率矽晶太陽電池受到太陽光電業者的重視,尤其歐洲金融問題,導致市場上對太陽電池之需求大幅下降,引發太陽電池價格崩跌,因此電池廠亟需提升電池轉換效率,同時降低生產成本之創新材料/製程技術。目前產業上表面鈍化薄膜沉積技術包括PECVD和ALD等,但相較於主流的真空鍍膜技術,噴塗熱裂解技術具有設備成本低廉、前驅材料選擇性高的優點,因此在功能性薄膜的應用受到重視。本文將介紹噴塗熱裂解成膜技術,包括以噴塗熱裂解法鍍製鈍化薄膜與應用在PERC結構太陽電池之特性表現。


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