強介電材料不但Bulk 狀已被廣泛利用,做為各種感測器與致動器,結合微細加工技術之微小化強介電微感測器與微致動器,正大力開發中。本文介紹幾種在微機電系統領域被研究與使用的強介電微元件,包括焦電紅外線熱像儀、超音波感測元件、陣列聲納元件、微閥、微馬達及微泵等。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 晶圓鍵合技術及其應用 可高速控制壓電材料之技術 燃料電池用氫偵測感測器的新發展 智慧型材料於生醫微型化系統之應用 氣體感測器的新動向--微機電元件產品開發 熱門閱讀 鋼鐵產業低碳製程技術發展趨勢 Ga2O3功率元件於電動車應用的發展(上) 固態鋰離子電池技術 高安全鋰電池材料與技術 高效CO2吸附與分離之金屬有機骨架複合膜之製備 相關廠商 金屬3D列印服務平台 大東樹脂化學股份有限公司 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 方全有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 正越企業有限公司 桂鼎科技股份有限公司 里華科技股份有限公司 高柏科技股份有限公司 銀品科技股份有限公司