利用低阻抗氧化鋅塗佈法開發新製膜技術

 

刊登日期:2011/5/31
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日本宮崎大學的研發團隊最近與Tosoh Finechem公司合作,利用塗佈法研發出製造低阻抗氧化鋅(ZnO)薄膜的新技術。將新研發的鋅材料朝對象物進行吹附,就可在200℃以下的低溫、大氣壓環境下,成功形成具導電性的薄膜。

氧化鋅薄膜雖可望擴大應用在平面顯示器(FPD),以及薄膜太陽電池關鍵材料的透明電極上,但現狀多採用濺鍍或化學氣相沈積法(CVD)來製造,必須準備大型機器。今後若可利用塗佈製程來進行,則可望大幅減少製程數,並有助於降低製作成本。

此外,低溫製程亦開啟了在塑膠基板上的應用之路,可望促進在電子紙、觸控面板等方面的實用化。


資料來源: http://release.nikkei.co.jp/detail.cfm?relID=278851&lindID=4
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