功能材料由於可以兼作感測器(Sensor)及致動器(Actuator),隨著微機電系統應用的擴展,其薄膜的製作與特性掌握日趨重要。氮化鋁與矽的熱膨脹係數很接近,且與標準IC製程完全相容,其相對較大的波速,可用作高頻率濾波器,同時亦可應用於各式感測器及驅動器等,故廣為各方重視。本文將概述氮化鋁壓電薄膜的製作及特性化的方式。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 薄膜體型聲波濾波器及雙工器設計 射頻微機電元件可靠度和氣密構裝解析 射頻微機電元件發展現況 微機電技術在射頻應用發展可期 壓電薄膜量測方法簡介 熱門閱讀 鋼鐵產業低碳製程技術發展趨勢 固態鋰離子電池技術 Ga2O3功率元件於電動車應用的發展(上) 高安全鋰電池材料與技術 從MNC 2023國際研討會看先進半導體技術最新發展(上) 相關廠商 Hach台灣辦事處 金屬3D列印服務平台 大東樹脂化學股份有限公司 工研院材化所 材料世界網 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 廣融貿易有限公司 銀品科技股份有限公司 高柏科技股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 里華科技股份有限公司 方全有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 正越企業有限公司 誠企企業股份有限公司