半導体原材料、セラミックバルク材料および薄膜材料に対する各種評価・分析技術を提供する。原材料から最終製品に至るまでの材料特性評価、欠陥解析および部品故障モード解析に対応し、重要半導体材料、セラミック部品、化合物半導体用エピタキシー工場および後工程組立・検査工場における新製品研究開発を支援する。
■ 応用分野
▶ 高純度材料評価
▶ 材料表面改質技術
▶ リサイクル回収材料の再利用評価
▶ 材料合成および検証技術
■ 応用分野
▶ 半導体製造装置向けセラミック部品分析
▶ セラミック基板特性評価
▶ セラミック放熱・発熱材料分析
▶ セラミック材料の強度評価試験
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Material and Chemical Research Laboratories
Dept. of Advanced Ceramic Thin Films and Applications Research(X500)
Yu-Jie Xiao
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