多功能歐傑電子顯微鏡 Field Emission–Auger Electron Microprobe
歐傑電子儀/表面化學分析儀 Auger Electron Spectroscopy / Electron Spectrum for Chemical Analysis

多功能歐傑電子顯微鏡(FE-AES)

Field Emission – Auger Electron Microprobe

一、設備基本資料:

功能簡介:

多材質奈米材料分析,含“0.1奈米起至數微米深度”之以下項目分析:

•元素、含量、厚度、化態、介面、縱深 分析。
•同素異形體鑑定&分析。
•材料表面鍵結種類、比例、表面結構分析。
•原子能階、功函數研究。
•單原子/分子層之元素、含量分析。
•非破壞表面分析元素、含量、厚度、化態、介面、縱深。

是目前成份影像解析度(~7nm)較佳之表面分析儀器,主要做為工研院奈米中心奈米材料分析及薄膜分析之儀器。

應用領域:

包含半導體、封裝、印刷電路板、BGA、光碟片、LED等產業之表面、薄膜縱深分析、表面化學鍵結分析、製程分析、故障分析、反向工程分析等。

二、設備型錄資料:

廠牌及型號: Thermo VG Microlab 350

詳細功能規格:

重要規格: 影像解析度 7 nm或更好,成份影像解析度12nm或更好,縱深解析度1nm或更好。含化態分析功能(Energy resolution ~0.05%)、0.1-1um深度之Spectrum、Line scan、Mapping 元素分析。
主要附件:

•EDS、BEI系統:可用於1um深度以上成份、影像比對分析。

•UHV 樣品準備腔體:含樣品可升降溫從室溫至900 度Kelvin以上, 裝置, 測溫度裝置, including controller

•XPS、(R)EELS系統:可用於樣品之化態分析。

儀器性能: 同重要規格。

服務項目:

薄膜分析、表面元素分析、縱深成分分析、電腦數據處理、特殊案件分析、分析研判。

 

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歐傑電子儀/表面化學分析儀 (AES/ESCA)

Auger Electron Spectroscopy / Electron Spectrum for Chemical Analysis

一、設備基本資料:

功能簡介:

分析材料表面5nm深度之元素成份、1mm厚度內之薄膜縱深分析、表面化學鍵結分析。

應用領域:

包含半導體、封裝、印刷電路板、BGA、光碟片、LED等產業之表面、薄膜縱深分析、表面化學鍵結分析、製程分析、故障分析、反向工程分析等。

二、設備型錄資料:

廠牌及型號: VG Microlab MKIII

詳細功能規格:

重要規格: LaB6 10KV 電子槍、1 x 10-9 torr 真空度、15KV Twin anode X-ray tube、Al anode能量為1486.6eV,Mg anode為1253.6eV。
主要附件: OS2 control system、EXO5 ion gun 0-5KV、220升/秒離子幫浦和鈦昇華幫浦。
儀器性能: 影像解析度 ~5mm、縱深解析度 ~5nm、實際能量解析度~1eV。

服務項目:

表面元素分析、縱深成分分析、電腦數據處理、特殊案件分析、AES/ESCA分析研判。

特別注意事項:

樣品或試片準備需知: 樣品材質為固體、尺寸AES 1mm∼10mm見方或圓形、尺寸ESCA約10mm見方、厚度<1cm。
不提供服務項目: 樣品屬於高蒸氣壓經抽氣3小時後,真空壓力無法達到10-9torr者,恕不分析。

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