感應耦合電漿質譜分析儀 (ICP-MS)

Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry

一、設備基本資料：

功能簡介：

可同時分析溶液中70個元素達ppt等級。

應用領域：

包含半導體、封裝、印刷電路板、BGA、光碟片、LED、環境、有機及無機溶液等。材料組成、不純物或污染物可做定性及定量分析。

二、設備型錄資料：

廠牌及型號： Agilent 7500a

詳細功能規格：

重要規格： Cooled spray chamber、Robust interface、Omega2 off axis lens、Hyperbolic rod quadrupole 、Fast simultaneous dual mode detector、Turbo pump 70L/Sec。
主要附件： 冰水機、Turbo pump 70L/Sec。
儀器性能： 質普解析度1amu、基質負荷500~1000ppm、X-Y-Z移動式Torch Box調整Plasma位置及能量。

服務項目：

材料組成、有機及無機溶液、不純物或污染物可做定性及定量分析。

特別注意事項：

樣品或試片準備需知： 慎防樣品污染。