名古屋大學團隊突破昇華法摻雜與大口徑化瓶頸,試作出6吋p型SiC晶圓

 

刊登日期:2025/11/14
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日本Oxide Power Crystal、產業技術綜合研究所(AIST)、名古屋大學、MIPOX等組成的研究團隊成功開發出新型碳化矽(SiC)晶圓的製造技術。該技術以溶液成長法為基礎,結合人工智慧(AI)與數位分身(Digital Twin)技術,並已試作出p型6吋(150 mm)晶圓以及n型6吋與8吋(200 mm)晶圓,實現了既有方法難以達成的大口徑p型SiC晶圓製造,藉此可望推進實用化。
 
p型SiC晶圓可望成為次世代超高耐電壓功率元件的重要材料而受矚目,但以往的昇華法難以精準控制摻雜劑(Dopant),因此難以實現大口徑化。此次新技術以名古屋大學開發的超高品質SiC溶液成長法為基礎,結合先進的數位技術進而得以實現。
 
此次研究中,名古屋大學與AIxtal負責高速模擬分析,針對溫度場、濃度場與流動場的控制策略進行分析,尋找出最適條件。在此基礎上,UJ-Crystal提供結晶成長基本配方的技術知識;Oxide Power Crystal則利用成長設備完成結晶成長的實證,同時開發出商業化所需之量產製程。此外, SiC研磨技術大廠MIPOX與AIST亦共同參與。整體開發計畫則獲得日本新能源產業技術綜合開發機構(NEDO)的資助支持。

資料來源: https://eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/2510/07/news038.html
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