東京大學與靜岡大學、鷺宮製作所共同開發了一項mW級高輸出功率之靜電式震動發電裝置。研究團隊採用了微機電系統(MEMS)製程與齒梳型的電極構造，在矽晶圓上形成電極構造後，並將固定電極端的側壁予以駐極體化處理(分極處理)。具體來說，是在氧化矽膜上摻雜鉀(K)之後，施加熱與電壓，鉀往一方析離而產生分極，冷卻後能維持高密度的分極。
由於齒梳構造的高寬比提高至40比1，在頻率150 Hz的條件下，最大輸出功率為1.3 mW，達到了可驅動無線IoT裝置的水準。新開發的靜電式震動發電裝置大小為2.0x3.5 cm，且已確認與溫度感測器、無線模組、電源管理IC一體化後成功地驅動裝置。
電力密度提高至每1立方公分763μW，而既有技術僅能提高至100μW左右，因此新製品將可望更近一步達到小型化、高輸出功率化。此外，小型化使用半導體製程也將促進低成本化。