在基板上垂直合成單層碳奈米管

 

刊登日期:2004/2/12
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日本東京大學的丸山茂夫副教授等人,開發出將具代表性的奈米科技材料單層碳奈米管,垂直合成在基板上的方法,有助於使用單層奈米管之大型積體電路(LSI)用配線與光感測器(Sensor)、高速光通信元件等之開發。此成果預計技術移轉企業界,並期一年內可以提供樣品。

 

將水晶基板浸至金屬溶液中,再拉起、乾燥,在基板表面即可產生直徑約1.5奈米的金屬觸媒。在添加奈米管原料之酒精前加入氫,以使金屬觸媒活性化。金屬觸媒大部份均可合成奈米管,所以可以像地毯的毛般互相支撐垂直立著。過去,由於大部份的金屬觸媒並未經活性化,以致合成密度低,而呈橫躺的狀態。

 

而呈立體配線的LSI,其層與層間的垂直配線負責很多電流的流通。富士通等公司一直在研究奈米管,希望找到無斷線之虞的材料。新技術的合成密度非常高,並且流通大量電流,而可望應用至層間配線。


資料來源: 日經產業新聞 2003/12/23
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