軟性顯示器電性檢測技術

 

刊登日期:2011/6/5
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傳統的電性檢測設備大多是利用探針接觸待測物並施予電壓,量測待測物的電性,檢驗其是否正常工作,隨著製程的線寬越來越小、製作的面積越來越大,以及檢測的速度要求越來越快下,利用接觸的方式量測電性越來越不符合實際需求。本文介紹一種快速檢測電性的方式,利用液晶型電光調製器做為電性量測的感應器,並於待測物加上偏壓,利用電光調製器感應待測物發出的電場,配合光學機構打光照射,可以擷取電光調製器感應電場產生的電壓影像,達到快速全檢的需求,並提供更精密、快速、正確的量測品質。


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