日本產業技術綜合研究所利用高速反應燒結法，開發出緻密質陶瓷的製作技術。藉由添加二氧化鋯，可使用比氮化矽粉末還要便宜的矽原料，在氮氣中以高速反應燒結而成。相較於以往的方法，反應燒結時的升溫速度最高可提高至80倍，生產成本也可大幅降低。另外，藉著高速反應所得到的反應燒結體，經由二次燒結所得到緻密化成品，其強度也與以往製作方法的氮化矽陶瓷相同。
氮化矽係屬非氧化物系陶瓷，在陶瓷中具有優良的機械物性。使用先前以氮化矽為原料的方法，除了原料成本很高以外，所使用的器材價格也相當昂貴。另一方面，使用反應燒結法可以矽為原料，不過燒結時非常耗時，無法凸顯材料低價格化的成果。產總研所開發出的新技術，係結合高速反應燒結法及二段燒結法，同樣使用矽為原料，可燒結出與使用氮化矽為原料的成品，實現低成本化的目標。所謂反應燒結法，即在氮氣下將矽氮化，取得多孔質燒結體的作法。用該方法所取得的燒結體幾乎無收縮，可適用於Near-net-shape法，且可以便宜的矽為原料。
產總研為縮短製程時間，於是著眼於鋯材料。通常的反應燒結，氮化的最佳溫度約在1400℃左右，不過急速升溫，會使未氮化的矽出現熔融現象，造成物性劣化，所以每分鐘只能將溫度升高0.15℃。但透過鋯的添加，每分鐘可以升溫12.5℃。成功地將達到最佳溫度的升溫速度提高至80倍。以往以二段燒結法所得到的氮化矽陶瓷，會因為內部所殘留的矽使強度降低，不過使用新技術所得的陶瓷，則可得到與一般品一樣的物性。