紅色與黑色負型光阻液之回收與再生技術

 

刊登日期:2008/8/1
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液晶顯示器(Liquid Crystal Display; LCD)之所以能顯示色彩,最主要是來自於彩色濾光片(Color Filter; CF)上紅、綠、藍顏色的組合,紅、綠、藍色則來自所塗佈之彩色負型光阻。CF是LCD 能彩色化之必要材料,佔生產材料成本之30 % 以上,負型光阻液又佔CF 之生產材料成本至少15% ,且直接影響CF 成品之品質,由此可見,彩色負型光阻液在LCD 工業之重要地位。

國內中小尺寸面板廠之CF生產線,主要以旋轉塗佈(Spin Coating)方式將一定量之光阻液塗佈於玻璃基板上,不僅基板上之光阻液利用率低,且塗佈甩出之光阻隨即成為機台污染物;為使機台能維持一定的潔淨度,得於基板塗佈後立即清洗除去,因而產出數量可觀的廢光阻液。

本研究針對廢棄紅色與黑色負型光阻液進行再生,首先改變收集方式以取得較濃稠之廢光阻,經調整其組成使其接近原生光阻後,過濾去除粒狀污染物,再於試驗機台驗證其性質。結果顯示紅色與黑色再生光阻表現與原生光阻相當接近。


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