微奈米結構模具與轉印技術

刊登日期:2010/1/1
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由於半導體、光電、通訊、記錄媒體、太陽能和顯示器零組件持續地積體化、微小化、高密度化和複合化,其特徵尺寸與製程需求也逐漸地從微米、次微米、深次微米,而走向奈米領域,面對產業奈米化的發展趨勢,符合微奈米元件大量生產所需之奈米製造技術,將是未來產業整體競爭力的決勝關鍵點,國內外各知名研究單位也爭相投入奈米轉印技術的研發。本文詳述工研院機械所於奈米領域之發展現況、特色與成果,以及在綠能產業的發展規劃。


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